博易盛真空式等離子清洗機(jī)：

控制系統(tǒng)：PLC+觸摸屏

電源：380V/AC,50/60Hz,3.7kw

射頻電源功率：600W/13.56MHz

容量：80L

層數(shù)：8

單層有效電極面積：300*400mm

氣體通道：兩路 0-500slm,工作氣體可選： Ar、N2、O2、CF4、H2 等

真空泵抽速：真空泵 TVP 油泵 TVP60M3/H

系統(tǒng)組成：

• 抽真空系統(tǒng)

• 等離子發(fā)生系統(tǒng)

• 工藝氣體控制系統(tǒng)

• 全自動(dòng)控制系統(tǒng)

等離子發(fā)生系統(tǒng)：

• 等離子發(fā)生系統(tǒng)包含等離子電源、等離子發(fā)生腔體等；

• 等離子電源采用高品質(zhì)射頻電源，頻率 13.56MHz、0-600W，穩(wěn)定性好，運(yùn)行準(zhǔn)確，精度高，能穩(wěn)定提供等離子所需能量，保證等離子處理效果；

• 等離子發(fā)生腔體為專利設(shè)計(jì)真空腔體，結(jié)構(gòu)簡單，安裝方便，處理效果強(qiáng)，均勻性高。

工藝氣體控制系統(tǒng)：

• 等離子發(fā)生系統(tǒng)包含質(zhì)量流量控制器、電磁閥、調(diào)壓閥等；

• 質(zhì)量流量控制器采用高品質(zhì)控制器，量程 0-300sccm，重復(fù)精度<1%，控制精度<0.5%，精度高，反應(yīng)迅速，使用壽命長；<>

• 電磁閥、調(diào)壓閥均使用SMC品牌，可靠性高。